Semes已开发出ArF-i光刻涂胶/显影设备

三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司表示,第一台名为"Omega Prime"的设备已于去年供货,Semes正在制造第二台设备.

Semes表示,在Omega Prime设备上应用了喷嘴烘烤温度和机器人位置自动调整系统,以消除涂布层的偏差.

目前,Semes已制造出KrF光刻涂胶/显影设备,并在此基础上开发了ArF版本,以支持波长更短的新型光刻机.