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Semes ha desarrollado el equipo de encolado/revelado de litografía ArF-i

2024/6/28 0:26:35

La compañía surcoreana de equipos de fabricación de semiconductores y pantallas, subsidiaria de Samsung Electronics, dijo que el primer dispositivo, llamado "Omega Prime", se suministró el año pasado, y Semes está fabricando un segundo dispositivo.

Semes dijo que se aplicó un sistema de ajuste automático para la temperatura de horneado de la boquilla y la posición del robot al dispositivo Omega Prime para eliminar las desviaciones en la capa de recubrimiento.

En la actualidad, Semes ha fabricado equipos de encolado/revelado de litografía KrF y ha desarrollado una versión ArF basada en esto para soportar nuevas máquinas de litografía con longitudes de onda más cortas.

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